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杨恒昭

作品数：6 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐德辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘米丰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：非晶硅 硅圆片 溅射 单晶硅 金膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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