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王翊

作品数：53 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划安徽省高校省级自然科学研究项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 6篇科技成果

领域

  • 16篇自动化与计算...
  • 14篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 27篇红外
  • 20篇感器
  • 20篇传感
  • 20篇传感器
  • 19篇探测器
  • 16篇气体传感
  • 16篇气体传感器
  • 16篇微机械
  • 13篇红外气体传感...
  • 11篇红外探测
  • 10篇热电堆
  • 10篇红外光
  • 10篇红外探测器
  • 8篇微机械热电堆
  • 8篇光源
  • 8篇红外光源
  • 6篇中心波长
  • 6篇红外吸收
  • 6篇波长
  • 5篇阵列

机构

  • 53篇中国科学院
  • 4篇安徽大学
  • 1篇中国科学院大...
  • 1篇中石化胜利石...

作者

  • 53篇王翊
  • 46篇李铁
  • 41篇王跃林
  • 25篇周宏
  • 20篇刘延祥
  • 12篇熊斌
  • 3篇奚庆中
  • 3篇胡艳军
  • 3篇刘义冬
  • 3篇周萍
  • 3篇林心如
  • 2篇许磊
  • 2篇周玉修
  • 2篇明安杰
  • 2篇郭联峰
  • 2篇杨恒昭
  • 1篇王东平
  • 1篇徐德辉
  • 1篇皋华敏
  • 1篇王立春

传媒

  • 4篇功能材料与器...
  • 1篇系统工程与电...
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇安徽大学学报...
  • 1篇激光与红外
  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇北京邮电大学...

年份

  • 3篇2024
  • 1篇2023
  • 5篇2022
  • 4篇2021
  • 11篇2020
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 7篇2009
  • 3篇2008
  • 5篇2007
  • 2篇2006
  • 2篇2005
  • 1篇2004
共 53 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种双栅硅纳米线晶体管传感器及制作方法
本发明属于传感器技术领域，包括一种双栅硅纳米线晶体管传感器及制作方法，在SOI硅片上利用各向异性湿法腐蚀技术在顶硅层中制作出凹槽以及位于凹槽底部的硅纳米线结构，然后在硅纳米线上方制作正栅介质层及正栅电极，并通过刻蚀窗口连...
李铁李亚钊陈栋钦陆仲明王翊
微机械面型微加热器的热学分析被引量：2
2005年
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好。
吴雷李铁王立春王翊王跃林
关键词：微电子机械系统热分析
一种微型热导气体传感器
本发明涉及一种微型热导气体传感器，包括下盖、以及与所述下盖气密性键合的上盖，所述下盖的上表面设有两个悬浮的热丝组件，其中，每个热丝组件连接一组焊盘；所述上盖的下表面上设有两组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道，其...
李铁王家钰王翊
文献传递
一种基于(100)晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构及方法
李铁王翊王跃林林心如奚庆中
本发明涉及一种基于｛100｝晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构。其关键是对｛100｝晶面硅锭进行特定角度c切割形成基片，再对基片进行常规半导体工艺，包括光刻、氧化、各向异性湿法腐蚀等，从而制作出特定的闪耀光栅倾角，实现闪耀光...
关键词：
关键词：闪耀光栅红外微光机电系统
采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构及制作方法
李铁王翊王跃林
本发明涉及一种采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构，其特征在于利用硅支撑梁结构取代原有各个器件单元间的硅框架以实现高密度的红外热电堆探测器阵列结构。周边硅框架不变，膜区的间距在20-700μm之间。本发明可利用无掩膜腐...
关键词：
关键词：红外阵列结构硅
与互补金属氧化物半导体工艺兼容的微机械热电堆红外探测器及制作方法
李铁王翊王跃林熊斌
本发明涉及一种新的基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法，其特征在于采用硅作为牺牲层，采用SiO2、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF2气体几乎不腐蚀的材料来制作像素的双材料支撑梁和红外敏感部分，采用Si...
关键词：
关键词：红外探测器金属氧化物半导体
一种横式微型红外气体传感器
本申请提供一种横式微型红外气体传感器，包括：微型光学气室、红外光源、红外探测器、电源芯片和ASIC芯片和第一电路板；微型光学气室的光路为横式折叠反射结构，光路与第一电路板平行设置；微型光学气室包括光输入端和光输出端；红外...
李铁刘延祥王翊周宏
文献传递
基于正面结构的MEMS传感器
王跃林熊斌李铁徐德辉刘理天车录锋王东平王翊刘延祥周宏吴燕红戈肖鸿马颖蕾
该项目属MEMS（微机电系统）领域。针对中国MEMS传感器性价比不高，缺乏市场竞争力的状况，该发明想方设法使传感器的结构仅需正面加工，从而简化制造工艺，适合在集成电路工厂规模生产，大幅降低生产成本；此外，还可实现全硅结构...
关键词：
关键词：封装
基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法
本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆...
李铁王翊周宏王跃林林心如奚庆中
文献传递
一种并列式双通道红外气体传感器
本发明涉及一种并列式双通道红外气体传感器，包括从上至下依次层叠的反光罩、支撑板、基座和ASIC芯片；反光罩上设有反射腔和若干透气孔；支撑板上设置有第一通孔和第二通孔，其内分别嵌设有第一滤光片和两第二滤光片；基座的顶面设有...
李铁冯立扬王翊周宏王跃林
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