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刘福生
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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文化科学
金属学及工艺
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合作作者
何金群
北京七星华创电子股份有限公司
裴立坤
北京七星华创电子股份有限公司
吴仪
北京七星华创电子股份有限公司
张豹
北京七星华创电子股份有限公司
韩丽娜
北京七星华创电子股份有限公司
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何金群
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
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韩丽娜
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:垂直入射 弹性力 风机 拉伸弹簧 卡盘
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王瑞廷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体晶片 工艺技术 夹持 卡盘 晶片
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