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韩丽娜

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 2篇弹簧
  • 2篇弹性力
  • 2篇导流装置
  • 2篇圆孔
  • 2篇入射
  • 2篇清洁工艺
  • 2篇轴承
  • 2篇轴承安装
  • 2篇弯矩
  • 2篇微环境
  • 2篇微孔
  • 2篇流场
  • 2篇流体
  • 2篇洁净度
  • 2篇晶片
  • 2篇均流
  • 2篇卡紧
  • 2篇卡盘
  • 2篇拉伸弹簧
  • 2篇风机

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇吴仪
  • 6篇韩丽娜
  • 2篇张晓红
  • 2篇张豹
  • 2篇刘福生

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 4篇2011
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
微环境的垂直层流系统
本实用新型公开了一种微环境的垂直层流系统，包括：形状为长方体的腔室；风机模块，其内设置有至少一个风机，风机模块设置在腔室内；导流装置，其设置在腔室内；均流装置，其设置在腔室内，并且设置在风机模块和导流装置的下方；设置在所...
韩丽娜吴仪
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盘状物固定装置
本发明公开了一种盘状物固定装置，包括卡盘主体及与其连接并带动盘状物转动的转动轴；通过轴承安装在卡盘主体上，并可与卡盘主体同轴转动的凸轮；连接于凸轮与卡盘主体之间，使得凸轮能够相对于卡盘主体转动的至少一个拉伸弹簧；设置于卡...
张豹吴仪张晓红韩丽娜
盘状物固定装置
本发明公开了一种盘状物固定装置，包括卡盘主体及与其连接并带动盘状物转动的转动轴；通过轴承安装在卡盘主体上，并可与卡盘主体同轴转动的凸轮；连接于凸轮与卡盘主体之间，使得凸轮能够相对于卡盘主体转动的至少一个拉伸弹簧；设置于卡...
张豹吴仪张晓红韩丽娜
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微环境的垂直层流系统
本发明公开了一种微环境的垂直层流系统，包括：形状为长方体的腔室；风机模块，其内设置有至少一个风机，风机模块设置在腔室内；导流装置，其设置在腔室内；均流装置，其设置在腔室内，并且设置在风机模块和导流装置的下方；设置在所述腔...
韩丽娜吴仪
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高速射流喷头
本实用新型涉及集成电路晶片清洁工艺技术领域，具体公开了一种高速射流喷头。该喷头具有若干个圆孔，圆孔包括若干个微孔，微孔贯通至喷头的底部。本实用新型高速射流喷头具有若干个贯通的微孔，清洁液体通过多个微孔形成对晶片表面垂直入...
王锐廷吴仪韩丽娜刘福生
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一种高速射流喷头
本发明涉及集成电路晶片清洁工艺技术领域，具体公开了一种高速射流喷头。该喷头具有若干个圆孔，圆孔包括若干个微孔，微孔贯通至喷头的底部。本发明高速射流喷头具有若干个贯通的微孔，清洁液体通过多个微孔形成对晶片表面垂直入射的高速...
王锐廷吴仪韩丽娜刘福生
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