2024年12月27日
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姬丹丹
作品数:
37
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
一般工业技术
电气工程
电子电信
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合作作者
张豹
北京七星华创电子股份有限公司
吴仪
北京七星华创电子股份有限公司
王浩
北京七星华创电子股份有限公司
王波雷
北京七星华创电子股份有限公司
李伟
北京七星华创电子股份有限公司
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张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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王浩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 薄片 夹紧 卡爪 气体
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
王波雷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
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李伟
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
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张享倩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出口 硅片清洗 污染空气 污染程度 自清洗
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刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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马嘉
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:压力传感器 工艺过程 晶片 卡盘 声波换能器
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