您的位置： 专家智库 > >

朱攀

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

领域

  • 4个自动化与计算...
  • 2个金属学及工艺
  • 2个电子电信
  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术

主题

  • 5个清洗工艺
  • 5个密封
  • 5个硅片
  • 4个旋转轴
  • 4个占地面积
  • 4个支撑脚
  • 4个清洗机
  • 4个门板
  • 4个晶圆
  • 4个机械手
  • 4个夹紧
  • 3个弹簧
  • 3个电机
  • 3个电机控制
  • 3个电气柜
  • 3个调平
  • 3个通孔
  • 3个铜互连
  • 3个片盒
  • 2个底面

机构

  • 5个北京七星华创...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王波雷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0