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徐俊成

作品数：26 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：经济管理自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 8个自动化与计算...
  • 6个文化科学
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电子电信
  • 2个机械工程
  • 2个一般工业技术
  • 1个天文地球
  • 1个动力工程及工...
  • 1个电气工程
  • 1个理学

主题

  • 10个硅片
  • 8个机械手
  • 7个清洗工艺
  • 7个自动化
  • 7个密封
  • 7个晶圆
  • 6个旋转轴
  • 6个支撑脚
  • 6个清洗机
  • 5个导轨
  • 5个占地面积
  • 5个通孔
  • 4个弹簧
  • 4个底面
  • 4个调平
  • 4个氧化炉
  • 4个铜互连
  • 4个螺母
  • 4个内部环境
  • 4个洁净度

机构

  • 11个北京七星华创...

传媒

  • 1个电子工业专用...

地区

  • 11个北京市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高浩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：导轨 机械手 密封 硅片 存取
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙文婷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 半导体工艺设备 浮尘 风机机组 监测系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王营营
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱攀
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片清洗 薄片 半导体工艺 硅片 交叉污染
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马嘉
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：压力传感器 工艺过程 晶片 卡盘 声波换能器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张明
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：压力传感器 半导体制造技术 控制器 气体压力 数据处理单元
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