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高浩

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 8篇导轨
  • 5篇密封
  • 5篇机械手
  • 4篇硅片
  • 3篇受力
  • 3篇自锁
  • 3篇足迹
  • 3篇内部环境
  • 3篇洁净度
  • 3篇晶圆
  • 3篇可移动式
  • 3篇空气调节
  • 3篇空气洁净度
  • 3篇监测系统
  • 3篇风机
  • 3篇风机机组
  • 3篇浮尘
  • 3篇存取
  • 2篇湿法
  • 2篇湿法处理

机构

  • 18篇北京七星华创...

作者

  • 18篇高浩
  • 8篇徐俊成
  • 8篇赵宏宇
  • 5篇裴立坤
  • 5篇李伟
  • 5篇孙文婷
  • 4篇张豹
  • 2篇李广义
  • 2篇王波雷
  • 1篇王营营

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 12篇2013
  • 3篇2012
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
铜互连后清洗设备
1.本外观设计产品的名称：铜互连后清洗设备。;2.本外观设计产品的用途：用于铜工艺的互连阶段，多孔性low-k介质材料集成的清洗。;主要去除光刻胶残留、颗粒、通孔内的有机聚合物以及硅片边沿和背面的铜金属。;3.本外观设计...
赵宏宇裴立坤高浩李广义贾星杰徐俊成
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可移动式密封装置
本发明提供一种可移动式密封装置，其包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板（1）和两条平行的导轨（4），所述滑动密封板（1）可滑动安装于所述两条导轨（4）上，所述驱动装置与所述滑动密封板（1）连接，其连接位置在...
徐俊成高浩赵宏宇李伟贾星杰
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一种过滤装置
本发明涉及硅片湿法处理领域，具体公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液...
王波雷张豹贾星杰高浩
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一种盘状物夹持装置
本发明涉及一种夹持装置，公开了一种盘状物夹持装置，该夹持装置包括卡盘、所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动夹持元件进...
高浩张豹
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一种空气调节监测系统
本发明公开了一种空气调节监测系统，应用于半导体清洗设备，该系统包括：主框架、风机机组、风机固定支架、均风装置、可调层流装置、气体压力传感器、静电阻抗器、静电监视器以及空气洁净度测试装置。本发明主要用于消除半导体清洗机内部...
孙文婷赵宏宇裴立坤高浩
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铜互连后清洗机（300mm）
1.本外观设计产品的名称：铜互连后清洗机（300mm）。;2.本外观设计产品的用途：用于铜工艺的互连阶段，多孔性low-k介质材料集成的清洗。;主要去除光刻胶残留、颗粒、通孔内的有机聚合物以及硅片边沿和背面的铜金属。;3...
赵宏宇裴立坤高浩贾星杰徐俊成
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可移动式密封装置
本实用新型提供一种可移动式密封装置，其包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板（1）和两条平行的导轨（4），所述滑动密封板（1）可滑动安装于所述两条导轨（4）上，所述驱动装置与所述滑动密封板（1）连接，其连接位...
徐俊成高浩赵宏宇李伟贾星杰
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一种移动式密封装置
本实用新型提供一种移动式密封装置，该密封装置包括：移动式密封板、驱动装置、导轨和导轨滑块；所述导轨与导轨滑块连接；所述移动式密封板一端与导轨滑块连接，另一端与驱动装置连接。本实用新型提供的移动式密封装置安装在工艺腔室开口...
徐俊成高浩李伟贾星杰孙文婷
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一种空气调节监测系统
本实用新型提供一种空气调节监测系统，应用于半导体清洗设备，该系统包括：主框架、风机机组、风机固定支架、均风装置、可调层流装置、气体压力传感器、静电阻抗器、静电监视器以及空气洁净度测试装置；均风装置位于风机机组风向的下方，...
孙文婷赵宏宇裴立坤高浩
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一种空气调节监测系统
本发明公开了一种空气调节监测系统，应用于半导体清洗设备，该系统包括：主框架、风机机组、风机固定支架、均风装置、可调层流装置、气体压力传感器、静电阻抗器、静电监视器以及空气洁净度测试装置。本发明主要用于消除半导体清洗机内部...
孙文婷赵宏宇裴立坤高浩
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