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邢友翠
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3
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
戚红英
中国电子科技集团公司第四十六研...
王俭峰
中国电子科技集团公司第四十六研...
李亚帅
中国电子科技集团公司第四十六研...
佟丽英
中国电子科技集团公司第四十六研...
张继荣
中国电子科技集团公司第四十六研...
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王俭峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:LPCVD TEOS 二氧化硅薄膜 均匀性 淀积速率
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供职机构
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史继祥
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:少子寿命 电阻率 硼 晶向 Γ辐照
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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闫萍
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 高阻 少子寿命
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李亚帅
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:光注入 禁带宽度 少子寿命 少数载流子寿命 锗单晶
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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戚红英
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 湿法清洗 硅晶片 硅单晶片
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张继荣
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅单晶 电阻率 少子寿命 DLY 校准方法
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