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石万全
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16
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H指数:4
供职机构:
中国科学院研究生院
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合作作者
刘世祥
首都师范大学
刘渝珍
中国科学院研究生院
韩一琴
中国科学院
姚德成
中国科学院
刘金龙
中国科学院
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刘世祥
供职机构:中国科学技术大学研究生院
研究主题:LPCVD 氮化硅薄膜 氮化硅 可见光发射 室温
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刘渝珍
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:光致发光 快速退火 LPCVD RTA 硅
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韩一琴
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:多晶硅薄膜 微晶硅薄膜 热丝 热丝化学气相沉积 LPCVD
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姚德成
供职机构:中国科学院大学
研究主题:单光子 镁 氢原子 激光诱导 密码学
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刘金龙
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:太阳电池 氮化硅 硅 半导体薄膜技术 PECVD
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赵玲莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LPCVD X射线光刻 氮化硅 氮化硅薄膜 可见光发射
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孙宝银
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 LPCVD X射线光刻 氮化硅 可见光发射
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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陈志坚
供职机构:中国科学技术大学研究生院
研究主题:单光子 镁 硅 气相爆轰波 原子束
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刘峰奇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:量子级联激光器 波导 量子级联 欧姆接触 量子点
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