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沈路

作品数：14 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 12个机械工程
  • 12个自动化与计算...
  • 10个电子电信
  • 8个交通运输工程
  • 8个航空宇航科学...
  • 7个电气工程
  • 5个一般工业技术
  • 4个理学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个建筑科学
  • 2个环境科学与工...
  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个化学工程
  • 1个矿业工程
  • 1个自然科学总论

主题

  • 12个微电子
  • 12个感器
  • 11个加速度
  • 11个MEMS
  • 10个微电子机械
  • 10个微电子机械系...
  • 9个电路
  • 9个电阻
  • 9个速度传感器
  • 8个电容
  • 7个电容式
  • 7个圆片
  • 7个陀螺
  • 7个陀螺仪
  • 6个淀积
  • 5个单片
  • 5个电容式加速度...
  • 5个圆片级
  • 5个圆片级封装
  • 4个单片集成

机构

  • 11个中国电子科技...
  • 2个河北半导体研...
  • 2个西安电子科技...
  • 2个西安科技大学
  • 1个吉林大学
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 5个国家高技术研...
  • 5个国家自然科学...
  • 3个国防科技技术...
  • 3个国家部委资助...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个国防基金
  • 2个高等学校学科...
  • 2个陕西省教育厅...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个模拟集成电路...
  • 2个陕西省科学技...
  • 2个陕西省自然科...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个军事电子预研...
  • 1个武器装备预研...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个陕西省教育厅...
  • 1个海南省自然科...
  • 1个中央级公益性...

传媒

  • 12个微纳电子技术
  • 6个2003年惯...
  • 6个2003年惯...
  • 6个中国惯性技术...
  • 5个半导体技术
  • 4个第五届全国微...
  • 4个中国微米纳米...
  • 3个Journa...
  • 3个物理学报
  • 3个传感技术学报
  • 3个微电子学
  • 3个计测技术
  • 3个中国微米、纳...
  • 2个电子学报
  • 2个电子器件
  • 2个电子设计工程
  • 2个2006中国...
  • 2个2010年全...
  • 2个2011第十...
  • 2个2010’全...

地区

  • 11个河北省
  • 3个陕西省
共 14 条 记 录，以下是 1-10
杨拥军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李博
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS陀螺仪 MEMS MEMS器件 角速度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何洪涛
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卞玉民
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李妤晨
供职机构：西安科技大学
研究主题：BICMOS 应变SI 双极器件 淀积 多晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玉奎
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS加速度传感器 MEMS 空气流量计 粮情检测系统 粮情检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹学锋
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：终端 图像 多帧图像 校正方法 像素点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐永青
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 微机械 可变光衰减器 微电子机械 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢新艳
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS陀螺仪 测试系统 惯性器件 陀螺仪 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鹤鸣
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：应变SI BICMOS 双极器件 多晶 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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