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鲍海飞

作品数:79 被引量:63H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
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陆德仁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶水驰
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院卫星技术研究所
研究主题:磁场 SE 晶体生长 碲镉汞晶体 非晶态
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张鲲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
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蓝慕杰
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:磁场 晶体生长 碲镉汞晶体 HGCDTE晶体 BRIDGMAN法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李新
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度传感器 传感器 碰撞 实用化 管脚
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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