陆德仁
- 作品数：67 被引量：104H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家攀登计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法
- 本发明涉及绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法,这种传感器又称为S01硅高温超高压力传感器,属于电子信息领域,本发明提供的方法最关键的点采用S01技术解决敏感元件和弹性元件的高温电隔离,以硅和耐热玻璃环的静电键合为边...
- 张轩雄陆德仁王文襄扬根庆
- 文献传递
- 一种高固有频率的量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器
- 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s<Sup>2</Sup>的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间的主梁为层叠的位置关...
- 王钻开陆德仁黄金平
- 文献传递
- 高量程微加速度计的冲击标定
- 隐藏在完全封装之中的微机械器件其敏感部分的机械形变不容易直接检测出来,这在高量程微加速度计的冲击标定实验上就带来了难度。在自由落体冲击实验中,需要确定与灵敏度相关的速度增量变量,即测试加速度计的速度增量和理想情况下的落体...
- 鲍海飞陆德仁
- 关键词：加速度计线性度
- 文献传递
- 高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析被引量：1
- 2009年
- 文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度自由落下与放置在地面上的金属砧发生相互碰撞,利用双通道放大器和计算机数据采集系统同时记录两路信号。实验中分别对6 000 g和60 000 g的压阻加速度传感器进行了研究,该方法具有较好的重复性和可靠性,并分析了测试偏差来源对横向响应的影响。
- 鲍海飞李昕欣宋朝辉张鲲刘民陆德仁
- 关键词：微机电系统
- 高温压力传感器芯片的制作方法
- 一种高温压力传感器芯片的制作方法，最为关键的工艺是将带有单晶碳化硅外延层的硅片与外层被氧化的硅片用浓硫酸清洗，去离子水冲洗，然后将其中硅片的碳化硅面与另一硅片的氧化硅面进行键合，再将其放入氢氧化钾溶液中腐蚀，去除碳化硅外...
- 张轩雄陆德仁王文襄杨根庆
- 文献传递
- 平面微电极阵列的研制和表征被引量：1
- 1993年
- 作者用微电子平面工艺制备了多种平面电极阵列,研究了它们的电化学特性.实验证明:微电极阵列能极大地提高响应电流并保持单一微电极的全部优点,即尺寸越小,响应时间越短,电流密度越大,能使用的电位扫描述率越高.并又共价键合葡萄糖氧化酶,研制成功具有良好性能的微型化葡萄糖传感器,它的响应电流比现有报导的单一微电极的葡萄糖传感器大十多倍.
- 朱建中田承云陆德仁张国雄
- 关键词：微电极阵列微电极阵列
- 压阻式高量程微加速度计的冲击校准被引量：8
- 2003年
- 采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情况下,被测微加速度计的灵敏度为1.26μV/gn。
- 郇勇张泰华杨业敏王钻开陆德仁
- 关键词：微电子机械系统微加速度计校准芯片结构
- 一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器
- 李欣欣王跃林张锟陆德仁熊斌罗乐
- 该传感器由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上下玻璃盖板构成；有锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架内，与上下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用对称结构的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等...
- 关键词：
- 关键词：微机械加速度传感器
- 低量程电容式力平衡加速度传感器
- 微机械电容式加速度传感器适合于在低量程发挥优越性。本文介绍一种三明治结构电容式加速度传感器和接口电路(加速度计)的工作原理、结构设计、接口电路框图、静电力和工作模式,作者提出了适合于特低量程的浅反馈或开环工作模式和采用具...
- 陆德仁李宝清邹强尤绍麟
- 关键词：微机械加速度计电容式传感器分度头电路框图
- 文献传递
- 一种量程可达2万M/S2的微机械加速度传感器
- 李欣欣王跃林张锟陆德仁熊斌罗乐
- 该成果涉及一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器。其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框架构成，芯片封装在框架中，并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板一岛的结构，主要有锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块...
- 关键词：
- 关键词：微机械加速度传感器
