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张方

作品数：58 被引量：68H指数：6
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖艳芬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 波带片 光刻机 离轴照明 离轴
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小邦
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王健
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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