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陈明

作品数：65 被引量：24H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 58篇专利
  • 7篇期刊文章

领域

  • 10篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 5篇理学
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇核科学技术

主题

  • 33篇光刻
  • 27篇光学
  • 25篇光刻机
  • 17篇激光
  • 16篇衍射
  • 16篇光学元件
  • 14篇衍射光学
  • 14篇衍射光学元件
  • 10篇照明
  • 9篇激光器
  • 8篇照明系统
  • 8篇紫外光刻
  • 7篇测量方法
  • 6篇起偏器
  • 6篇离轴
  • 6篇离轴照明
  • 6篇光纤
  • 6篇光源
  • 5篇入射
  • 5篇透镜

机构

  • 61篇中国科学院上...
  • 6篇中国工程物理...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇复旦大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇上海大学
  • 1篇南京先进激光...

作者

  • 65篇陈明
  • 56篇黄惠杰
  • 53篇杨宝喜
  • 38篇朱菁
  • 30篇曾爱军
  • 24篇李璟
  • 20篇胡中华
  • 17篇肖艳芬
  • 16篇张方
  • 10篇胡小邦
  • 8篇宋强
  • 8篇谢承科
  • 6篇薛佩佩
  • 6篇任冰强
  • 5篇季来林
  • 5篇王健
  • 5篇黄立华
  • 4篇王韬
  • 4篇刘蕾
  • 4篇朱俭

传媒

  • 6篇中国激光
  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 4篇2017
  • 7篇2016
  • 10篇2015
  • 15篇2014
  • 14篇2013
  • 6篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 65 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法
一种光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法，检测装置的过程包括准分子激光器，沿该准分子激光器的输出光束方向依次是同轴的扩束镜、能量衰减片、光阑、聚光镜和图像传感器，所述的微透镜阵列置于二维电动平台上，所述的微透镜阵列的后...
肖艳芬朱菁杨宝喜胡小邦张方黄惠杰李璟陈明
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光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法
一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置和检测方法，装置的构成包括可见激光器，在该可见激光器输出激光的方向同光轴地依次设有扩束镜组、分束镜、第一远场成像透镜、可调光阑或CCD图像传感器、第二远场成像透镜和第二...
朱菁黄惠杰曾爱军胡中华杨宝喜陈明
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用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法
一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板中一个分区的初始位相赋值；⑤...
朱菁胡中华杨宝喜陈明曾爱军黄惠杰
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大口径透镜的调整固定装置
一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同...
薛佩佩杨宝喜陈明李璟任冰强钱珍梅王振黄惠杰
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高精度光学间隔测量装置和测量方法
一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感...
杨宝喜魏张帆胡小邦李璟陈明朱菁薛佩佩黄惠杰
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三维光场调控装置
一种三维光场调控装置，包括激光器，沿该激光器发出的光束方向依次是同轴的起偏器、衍射光学元件、傅里叶变换透镜、径向偏振光转换器、振幅型波带片和高数值孔径聚焦透镜，所述的衍射光学元件和径向偏振光转换器分别位于所述的傅里叶变换...
朱菁葛丹丹宋强李兆泽张方曾爱军黄惠杰杨宝喜陈明李璟
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光学系统定心定位装置及其使用方法
一种光学系统定心定位装置及其使用方法，该装置的构成包括内调焦望远镜、白光光纤干涉仪、电子学部分、计算机、调整架、导轨和光学平台，本发明装置在光学装校过程中能够同时测量光学元件的中心偏差、中心厚度和中心间隔，对光学系统进行...
肖艳芬杨宝喜谢承科胡中华曾爱军陈明朱菁黄惠杰
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用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法
一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个...
朱菁王健黄惠杰张方杨宝喜陈明李璟魏张帆
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光刻机设备用离轴照明装置
一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
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光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法
一种光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法，该方法是沿光轴方向移动所述的聚光镜组的最后一块透镜，实现矩形照明光斑边缘位置和中心位置相对光强的调节。本发明无需添加额外的光学元件，仅依靠原光刻机曝光系统中已有光学元件的简单移动，...
朱菁黄惠杰曾爱军杨宝喜陈明李璟王健魏张帆张方
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