2025年1月4日
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魏猛
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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国家科技重大专项
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相关领域:
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合作作者
郑春海
沈阳芯源微电子设备有限公司
李晓飞
沈阳芯源微电子设备有限公司
王阳
沈阳芯源微电子设备有限公司
刘伟军
中国科学院沈阳自动化研究所
卢继奎
沈阳芯源微电子设备有限公司
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郑春海
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
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所获资助
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王阳
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:涂胶 光刻胶 半导体生产 晶圆 喷嘴
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李晓飞
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体行业 晶圆 承片台 光刻工艺 弹簧
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卢继奎
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 半导体行业 湿法处理 承片台 供液
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王靖震
供职机构:中国科学院沈阳自动化研究所
研究主题:热板 烘焙 集成电路 晶圆 温度均匀性
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刘伟军
供职机构:沈阳工业大学
研究主题:激光 激光清洗 激光冲击强化 激光熔覆 激光快速成形
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