2025年2月6日
星期四
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王敏杰
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南京电子器件研究所
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发文基金:
微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张勇
南京电子器件研究所
朱健
南京电子器件研究所
吴璟
南京电子器件研究所
巩全成
南京电子器件研究所
贾世星
南京电子器件研究所
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吴璟
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:MEMS 通孔 磁控溅射制备 磁控溅射 压应力
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供职机构
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张勇
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:基片集成波导 MEMS K波段 硅 单片
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供职机构
所获资助
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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供职机构
所获资助
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巩全成
供职机构:南京电子器件研究所
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