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李雯
作品数:
9
被引量:8
H指数:1
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
谭智敏
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
薛昕
清华大学信息科学技术学院微电子...
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谭智敏
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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薛昕
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:3-D MEMS 光刻胶 电感 SU-8
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