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赵丽莉

作品数：71 被引量：15H指数：2
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
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卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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冷兴龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 薄膜封装 前驱体 白光干涉 激光干涉
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刘涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 近场光学 白光干涉 激光干涉 蓝宝石
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屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈瑶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 注入机 特性参数 离子 半导体
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汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
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