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刘涛

作品数：54 被引量：25H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇专利
  • 14篇期刊文章

领域

  • 14篇电子电信
  • 11篇机械工程
  • 11篇理学
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇一般工业技术

主题

  • 10篇光学
  • 7篇原子层沉积
  • 7篇光谱
  • 6篇偏振
  • 6篇激光
  • 5篇探测器
  • 4篇碘化
  • 4篇碘化亚铜
  • 4篇动镜
  • 4篇真空干燥箱
  • 4篇入射
  • 4篇铜源
  • 4篇起偏器
  • 4篇蓝宝
  • 4篇蓝宝石
  • 4篇激光干涉
  • 4篇硅基
  • 4篇白光干涉
  • 4篇测量技术
  • 3篇多层膜

机构

  • 54篇中国科学院微...
  • 13篇北京智朗芯光...
  • 9篇中国科学院大...
  • 4篇中国科学院
  • 2篇电子科技大学
  • 2篇北京交通大学
  • 1篇合肥工业大学
  • 1篇北京工业大学
  • 1篇嘉兴科民电子...

作者

  • 54篇刘涛
  • 31篇夏洋
  • 23篇李楠
  • 22篇赵丽莉
  • 21篇冷兴龙
  • 16篇卢维尔
  • 15篇屈芙蓉
  • 8篇刘键
  • 7篇景玉鹏
  • 5篇李博
  • 5篇李国光
  • 4篇刘涛
  • 4篇韩郑生
  • 4篇李博
  • 4篇刘海南
  • 4篇赵发展
  • 4篇罗家俊
  • 4篇张琳
  • 4篇滕瑞
  • 3篇严冬

传媒

  • 5篇微电子学
  • 2篇光学学报
  • 2篇光谱学与光谱...
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光子学报
  • 1篇光电工程
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 6篇2024
  • 6篇2023
  • 11篇2022
  • 12篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 5篇2013
  • 1篇2012
共 54 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
近红外傅里叶变换偏振光谱仪
一种近红外傅里叶变换偏振光谱仪，包括：激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元；所述激光干涉子系统及其探测单元包括激光器、分束器、动镜、探测器和传感器；所述白光干涉子系统及其探测单元包括光源、滤波片、斩波器...
王玥张凌云王博雨陈楠冷兴龙刘涛李楠赵丽莉刘键景玉鹏何萌夏洋
一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法
本申请公开了一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法，包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热...
明帅强赵丽莉李楠何萌卢维尔夏洋高雅增文庆涛李培源冷兴龙刘涛屈芙蓉
基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
2013年
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。
严冬李国光刘涛熊伟李成敏郭青杨叶甜春
关键词：形貌
一种多层膜菲涅尔波带片的设计方法及系统
本发明公开了一种多层膜菲涅尔波带片的设计方法及系统，获得第一光源能量信息；获得所述多层膜菲涅尔波带片的应用焦距；获得所述多层膜菲涅尔波带片的分辨率信息；确定菲涅尔波带片的最外环宽度；确定多层膜菲涅尔波带片的半径；确定所述...
高雅增卢维尔夏洋刘涛冷兴龙李楠屈芙蓉赵丽莉何萌
一种MEMS谐振式电场传感器灵敏度漂移补偿方法
本发明公开了一种MEMS谐振式电场传感器灵敏度漂移补偿方法，通过改变外部电场，测定在第一工作频率下所述MEMS谐振式电场传感器的输出信息；根据所述外部电场值、所述第一输出信息，计算获得灵敏度系数；设定外部电场为零时，测定...
储昭志夏洋刘涛
一种石英晶体谐振器的加工方法及装置
本公开提供了一种石英晶体谐振器的加工方法，包括：S1，在石英晶片的第一表面和第二表面依次沉积多层金属并在最外侧表面涂覆光刻胶，其中，第一表面和第二表面为石英晶片上相对的两表面；S2，对步骤S1得到的第一表面和第二表面进行...
李磊刘涛张明烨王玥冷兴龙张凌云李楠赵丽莉何萌夏洋
文献传递
一种碘化亚铜薄膜的制备方法
本申请公开了一种碘化亚铜薄膜的制备方法，涉及半导体器件技术领域，所述方法包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石...
明帅强李楠赵丽莉何萌卢维尔夏洋文庆涛高雅增冷兴龙李培源屈芙蓉刘涛
文献传递
反射式近场光学偏振光谱仪
一种反射式近场光学偏振光谱仪，包括：入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，探测光在入射光发生模块中经过整形和调制，发出不同偏振状态的探测光，入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和...
刘涛张凌云王玥陈楠李磊王博雨冷兴龙李楠赵丽莉景玉鹏刘键何萌夏洋
一种ALD-CVD两步法生长二碲化钨薄膜的方法
本发明公开了一种ALD‑CVD两步法生长二碲化钨薄膜的方法，其中，所述方法包括：用无水乙醇超声清洗蓝宝石衬底，氮气吹干；以六氟化钨和乙硅烷作为前驱体，在所述蓝宝石衬底上采用原子层沉积法生长钨薄膜；切割并用无水乙醇超声清洗...
屈芙蓉张雨萌夏洋王晶唐陈丰仵思笛刘涛卢维尔何萌
利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法
本发明公开一种利用反射光谱测量单晶硅基太阳能电池表面增透膜的方法，包括通过建模模拟计算分别得出包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的总反射效率A与不包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的总反射效率B；基于所述总反射效率A和所述总反射...
刘涛王林梓李国光夏洋艾迪格·基尼欧马铁中
文献传递
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