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唐文栋

作品数：9 被引量：21H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程更多>>

合作作者

领域

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主题

  • 12个抛光
  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
  • 12个CMP
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  • 9个速率
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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 12个天津市
  • 1个河北省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田军
供职机构：河北工业大学
研究主题：硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王立发
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 粗糙度 T/R组件 硬盘基板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国玲
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 超精密加工 粗糙度 MG(OH)2 CACO3
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁培桓
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：SI 硅晶片 单晶片 黏度 切削液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗思邈
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 蓝宝石衬底 去除速率 INSB
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 磨料 SIO2 CU
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯丽辉
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 磨料 CU ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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