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唐文栋
作品数:
9
被引量:20
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
田军
河北工业大学信息工程学院微电子...
王立发
河北工业大学信息工程学院微电子...
张国玲
河北工业大学信息工程学院微电子...
张伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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田军
供职机构:河北工业大学
研究主题:硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
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王立发
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 T/R组件 硬盘基板
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张国玲
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 超精密加工 粗糙度 MG(OH)2 CACO3
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宁培桓
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:SI 硅晶片 单晶片 黏度 切削液
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张伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
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宗思邈
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 蓝宝石衬底 去除速率 INSB
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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孙薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 SIO2 CU
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侯丽辉
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 CU ULSI
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