王立发
- 作品数:27 被引量:43H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信金属学及工艺一般工业技术机械工程更多>>
- CMP Study of NiP Substrate of Computer Hard-disk with Alkali Nanometer Slurry
- In this paper, the chemical character of NiP substrate of computer disk is analyzed. New type of alkali slurry...
- 刘玉岭田军唐文栋张国玲王立发
- 关键词:CMPROUGHNESSPLANARIZATION
- 蓝宝石衬底nm级CMP技术研究被引量:10
- 2008年
- 介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,定量确定了最佳CMP工艺。提出先以重抛过程提高蓝宝石抛光速率,然后以轻抛过程降低最终表面粗糙度的工艺路线。在配制抛光液时加入FA/OⅠ型活性剂保护SiO2胶粒的双电子层结构。在轻抛过程之前抛光垫用原液浸泡20~30min,抛光磨料直径为20~40nm。实验最佳工艺条件下的抛光速率达231.6nm/min,粗糙度降至0.34nm。
- 马振国刘玉岭武亚红王立发陈景
- 关键词:蓝宝石化学机械抛光粗糙度
- 一种无连接器射频馈点输出型微波射频组件的测试装置
- 本发明提供了一种无连接器射频馈点输出型微波射频组件的测试装置,属于射频组件测试技术领域,包括测试台、测试组件以及弹性定位组件,其中,测试台用于固定安装微波射频组件,测试台上横向滑动连接有第一托板,第一托板上纵向滑动连接有...
- 郭立涛李秀芳王振亚王立发赵瑞华王乔楠袁彪刘金庞龙连智富戎子龙刘爱平
- 文献传递
- 电容式RF MEMS谐振器被引量:3
- 2010年
- 介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两个重要的结构参数对谐振器性能的影响。最后,对电容式微机械谐振器存在的问题作了总结,对其发展趋势做出展望。
- 贾英茜赵正平杨拥军王立发
- 关键词:谐振器谐振频率品质因数电容间隙
- 非规则天线子阵、相控阵天线及相控阵天线的设计方法
- 本发明提供一种非规则天线子阵、相控阵天线及相控阵天线的设计方法。非规则天线子阵包括:呈矩阵形式排布的多个天线单元,矩阵的每行和每列均包括至少两个天线单元,任意两个相邻天线单元之间距离相等;矩阵平面上设置至少一个射频接口,...
- 王建周彪孔令甲要志宏韩玉朝潘海波王立发李德才王玉彭同辉王旭东连盼招钟春斌
- 用碱性纳米SiO2浆料对计算机硬盘NiP基板进行CMP超精密加工的研究
- 本文采用碱性纳米SiO2纳米浆料对计算机硬盘NiP基板进行CMP超精密加工与酸性浆料对比在平整度PV, 均匀度rms和粗糙度RA均获得了显著的提高。
- 田军刘玉岭唐文栋张国玲王立发
- 关键词:MG(OH)2NI(OH)2FE3O4
- 一种X波段瓦片式T/R组件的设计与实现被引量:3
- 2017年
- 应用GeSi幅相多功能芯片、GaN多功能芯片,设计制作了一种X波段双通道瓦片式T/R组件,组件工作频率为8.5~10.5GHz。组件采用BGA(Ball Grid Array)球的三维高密度集成技术使微波多层基板之间实现了三维垂直互联。充分考虑腔体效应、芯片的级间匹配问题,利用芯片的S参数、三维垂直互联模型,应用仿真软件对T/R组件进行了仿真。采用SMT工艺、MCM工艺,合理设置温度梯度,对组件进行了装配、测试,测试结果与仿真数据有较好的拟合。接收支路噪声系数小于3.5dB,接收增益大于27.5dB,发射支路的输出脉冲功率大于32.5dBm,T/R组件6位移相、6位衰减,移相均方根误差小于3.4°,衰减幅度均方根误差小于0.8dB。组件尺寸为30mm×20mm×2.5mm(微波传输方向20mm)。
- 王立发
- 关键词:X波段T/R组件
- 毫米波一体化测试夹具
- 本发明提供了一种毫米波一体化测试夹具,属于射频微波组件技术领域,包括底板、测试工装、导向板、测试线、测试支板、上压盖,底板上设有放置TR组件的测试安装位;测试工装设置于TR组件的天线端;导向板固定于底板上,且位于测试工装...
- 连智富卜爱民王立发袁彪张志谦刘晓红郝金中郝岩董雪肖宁郭建靳英策胡占奎滑国红杨国喆马力赵晨安
- 文献传递
- 一种无连接器射频馈点输出型微波射频组件的测试装置
- 本发明提供了一种无连接器射频馈点输出型微波射频组件的测试装置,属于射频组件测试技术领域,包括测试台、测试组件以及弹性定位组件,其中,测试台用于固定安装微波射频组件,测试台上横向滑动连接有第一托板,第一托板上纵向滑动连接有...
- 郭立涛李秀芳王振亚王立发赵瑞华王乔楠袁彪刘金庞龙连智富戎子龙刘爱平
- 固态染料敏化纳米晶微晶硅复合薄膜太阳电池及其制备方法
- 本发明固态染料敏化纳米晶微晶硅复合薄膜太阳电池及其制备方法,涉及专门适用于将光能转换为电能的半导体器件,由透明导电基底、染料敏化纳米晶多孔膜、微晶硅空穴传输层和背电极构成;所述染料敏化纳米晶多孔膜被涂覆在透明导电基底上,...
- 田汉民田学民王伟杨帆杨瑞霞赵红东王立发