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张涛峰

作品数：15 被引量：1H指数：1
供职机构：天津理工大学更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

  • 17个电子电信
  • 11个自动化与计算...
  • 10个理学
  • 9个一般工业技术
  • 6个金属学及工艺
  • 5个化学工程
  • 5个机械工程
  • 4个电气工程
  • 4个文化科学
  • 2个动力工程及工...
  • 2个建筑科学
  • 2个环境科学与工...
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个哲学宗教
  • 1个生物学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个社会学

主题

  • 17个抛光
  • 17个平坦化
  • 14个电路
  • 14个抛光液
  • 14个纳米
  • 14个集成电路
  • 13个抛光速率
  • 12个电路工艺
  • 12个集成电路工艺
  • 11个化学机械抛光
  • 11个化学机械平坦...
  • 11个机械抛光
  • 10个金刚石薄膜
  • 9个氧化铈
  • 9个金刚石
  • 7个电极
  • 7个氧化钒
  • 6个氧化镍薄膜
  • 6个氧化钛薄膜
  • 4个单极性

机构

  • 20个天津理工大学
  • 3个天津大学
  • 2个南开大学
  • 2个河北工业大学
  • 1个中国科学院
  • 1个天津理工学院
  • 1个香港理工大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个光电信息技术...
  • 1个天津市光电子...

资助

  • 13个国家自然科学...
  • 8个天津市科技计...
  • 8个天津市自然科...
  • 8个天津市高等学...
  • 7个国家高技术研...
  • 4个教育部“新世...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个天津市科技支...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个天津市科技发...
  • 2个天津市教委科...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个河北省科技攻...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个中国科学院王...
  • 1个安徽省教育厅...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个河北省自然科...
  • 1个教育部重点实...

传媒

  • 11个光电子．激光
  • 7个天津理工大学...
  • 5个物理学报
  • 3个Journa...
  • 3个人工晶体学报
  • 2个半导体技术
  • 2个润滑与密封
  • 2个传感技术学报
  • 2个微纳电子技术
  • 2个纳米技术与精...
  • 2个传感器与微系...
  • 2个中国科学：物...
  • 2个教育进展
  • 2个第十三届全国...
  • 2个第十四届全国...
  • 1个分析化学
  • 1个光学精密工程
  • 1个化学与粘合
  • 1个太阳能学报
  • 1个无机化学学报

地区

  • 20个天津市
共 20 条 记 录，以下是 1-10
张楷亮
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王芳
供职机构：天津大学
研究主题：存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王莎莎
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石表面 纳米 抛光 等离子体刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曲长庆
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 金刚石膜 金刚石膜电极 电化学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任君
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 抛光速率 氧化铪 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹立国
供职机构：天津理工大学
研究主题：集成电路工艺 抛光速率 氧化铈 氧化钒薄膜 氧化钒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苗银萍
供职机构：天津理工大学
研究主题：光纤 单模光纤 倾斜光纤光栅 光谱分析仪 光子晶体光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
额日特
供职机构：天津理工大学
研究主题：大粒径 功能助剂 磨料 喷射机 抛光加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙大智
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石膜 纳米金刚石薄膜 金刚石 金刚石薄膜 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵金石
供职机构：天津理工大学
研究主题：存储器 叠层结构 电极 氧化钒 低功耗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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