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任君

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：天津理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 6篇机械抛光
  • 5篇抛光
  • 5篇纳米
  • 5篇化学机械抛光
  • 4篇抛光液
  • 3篇抛光速率
  • 3篇纳米管
  • 2篇氧化铪
  • 2篇致密
  • 2篇酸盐
  • 2篇填充金属
  • 2篇硼酸
  • 2篇硼酸盐
  • 2篇无机
  • 2篇无机酸
  • 2篇磨料
  • 2篇纳米金刚石薄...
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇硅衬底
  • 2篇衬底

机构

  • 9篇天津理工大学

作者

  • 9篇任君
  • 8篇王芳
  • 8篇张楷亮
  • 4篇张涛峰
  • 4篇冯玉林
  • 2篇孙阔
  • 2篇董莉
  • 2篇孙大智
  • 2篇赵金石
  • 2篇王莎莎
  • 1篇王兰兰
  • 1篇苗银萍
  • 1篇尹立国
  • 1篇朱宇清

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 4篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种化学机械抛光用纳米抛光液
本发明涉及一种化学机械抛光用纳米抛光液。该纳米抛光液包括含氟硼酸盐、纳米研磨料、表面活性剂、无机酸和溶剂去离子水。该纳米抛光液具有稳定性好、易清洗、损伤小、不腐蚀设备等优点。本抛光液适用于半导体领域铪基材料的化学机械抛光...
张楷亮冯玉林王芳任君孙阔
文献传递
碳纳米管互连结构的实现以及大容量电容的构建
碳纳米管的诸多优越性能，使其在多个领域得到了关注。碳纳米管电流承载能力可以达到1010A/cm2，和金刚石相媲美的热导率，具有很好的热稳定性。在IC互连方面备受关注，被誉为最有可能的下一代互连材料。同时，碳纳米管的高频特...
任君
关键词：碳纳米管互连结构大容量电容器化学机械抛光
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一种高致密纳米金刚石薄膜的生长方法
一种高致密纳米金刚石薄膜的生长方法，采用多步生长法来沉积纳米金刚石薄膜，具体步骤如下：1）将硅衬底用磨料进行研磨处理；2)在上述研磨处理后的硅衬底上沉积金刚石；3）对上述已沉积的金刚石薄膜表面用磨料进行研磨处理；4）在上...
张楷亮任君王芳张涛峰王莎莎孙大智
文献传递
一种改善碳纳米管互连电特性的方法
本发明提供一种改善碳纳米管互连电特性的方法，该方法是采用通孔填充的技术来改良碳纳米管空间占有率低所带来的互连电阻过大的问题。其主要内容如下：首先在预制好的通孔中生长碳纳米管，然后在整个表面旋涂一层光刻胶，并对光刻胶进行高...
张楷亮任君王芳冯玉林董莉兰馗博赵金石
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一种化学机械抛光用纳米抛光液
本发明涉及一种化学机械抛光用纳米抛光液。该纳米抛光液包括含氟硼酸盐、纳米研磨料、表面活性剂、、无机酸和溶剂去离子水。该纳米抛光液具有稳定性好、易清洗、损伤小、不腐蚀设备等优点。本抛光液适用于半导体领域铪基材料的化学机械抛...
张楷亮冯玉林王芳任君孙阔
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一种改善碳纳米管互连电特性的方法
本发明提供一种改善碳纳米管互连电特性的方法，该方法是采用通孔填充的技术来改良碳纳米管空间占有率低所带来的互连电阻过大的问题。其主要内容如下：首先在预制好的通孔中生长碳纳米管，然后在整个表面旋涂一层光刻胶，并对光刻胶进行高...
张楷亮任君王芳冯玉林董莉兰馗博赵金石
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一种用于氧化钛薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液及应用
一种用于氧化钛薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液，由纳米研磨料、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂、助清洗剂和溶剂混合组成，其中纳米研磨料为氧化铈或二氧化硅，pH调节剂由无机pH调节剂和有机pH调节剂组成复合pH调节剂，...
张楷亮张涛峰王芳任君尹立国王兰兰朱宇清
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一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液
一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法，在抛光过程中加热抛光盘，抛光盘的温度为30℃-100℃；该抛光法采用的抛光液，由复合磨料、pH复合调节剂、表面活性剂、分散剂和去离子水组成，其中复合磨料由硬质磨料和软质磨料两种磨料粒...
张楷亮张涛峰王芳任君苗银萍
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一种高致密纳米金刚石薄膜的生长方法
一种高致密纳米金刚石薄膜的生长方法，采用多步生长法来沉积纳米金刚石薄膜，具体步骤如下：1）将硅衬底用磨料进行研磨处理；2)在上述研磨处理后的硅衬底上沉积金刚石；3）对上述已沉积的金刚石薄膜表面用磨料进行研磨处理；4）在上...
张楷亮任君王芳张涛峰王莎莎孙大智
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