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俞磊
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5
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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上海市科学技术委员会资助项目
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理学
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合作作者
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
张泽芳
中国科学院研究生院
何敖东
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘波
中国科学院上海微系统与信息技术...
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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所获资助
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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张泽芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 氧化硅 抛光液 蓝宝石 氧化铈
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刘波
供职机构:北京工业大学计算机学院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 存储器 电阻
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吴关平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 存储器 二极管阵列 电阻
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闫未霞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 材料结构 反射光
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王良咏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 相变材料 相变存储器 抛光速率 硅酸
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何敖东
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 相变材料 材料结构 反射光 纳米孔
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