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李铁
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
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合作作者
王跃林
浙江大学信息科学与工程学院
王翊
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘延祥
中国科学院上海微系统与信息技术...
周宏
中国科学院上海微系统与信息技术...
沈鸿烈
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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王翊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
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刘延祥
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
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周宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
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沈鸿烈
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
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高安然
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 生物传感器 场效应晶体管 湿法腐蚀 液滴
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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王文辉
供职机构:浙江大学
研究主题:硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
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俞骁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 单晶硅 硅片表面 纳米 硅片
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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