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展明浩

作品数：8 被引量：46H指数：4
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划安徽省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术建筑科学机械工程更多>>

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地区

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共 19 条 记 录，以下是 1-10
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
皇华
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘方方
供职机构：合肥工业大学
研究主题：垂直度 ICP 硅深刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方岚
供职机构：北方通用电子集团有限公司
研究主题：差动电容 MEMS加速度计 MAX186 HOPKINSON杆 A/D转换器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄斌
供职机构：中国兵器工业集团
研究主题：刻蚀 MEMS器件 弹性梁 硅衬底 检测电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢斌
供职机构：北方通用电子集团有限公司
研究主题：HOPKINSON杆 压阻式 校准方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡潇
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑宇
供职机构：北方通用电子集团有限公司
研究主题：差动电容 测试分析 MEMS加速度计 MAX186 HOPKINSON杆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡芳菲
供职机构：合肥工业大学
研究主题：PIFA天线 RF_MEMS开关 多频段 多频 平面倒F天线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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