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孙国良

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：四川大学物理科学与技术学院(核科学与工程技术学院)更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 1个机械工程
  • 1个电子电信
  • 1个理学

主题

  • 1个掩模
  • 1个散射
  • 1个相干
  • 1个邻近效应校正
  • 1个空间法
  • 1个激光
  • 1个激光直写
  • 1个计算机
  • 1个计算机模拟
  • 1个计算机模拟研...
  • 1个光场
  • 1个光场分布
  • 1个光刻
  • 1个光刻技术
  • 1个光学邻近效应
  • 1个光学邻近效应...
  • 1个分辨力
  • 1个部分相干
  • 1个场分布
  • 1个OPE

机构

  • 1个四川大学

资助

  • 1个国家自然科学...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家重点实验...

传媒

  • 1个应用激光
  • 1个激光技术
  • 1个微细加工技术

地区

  • 1个四川省
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黄晓阳
供职机构：四川大学物理科学与技术学院物理学系
研究主题：光学邻近效应 光学邻近效应校正 散射 部分相干 计算机模拟研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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