2024年12月26日
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杨广立
作品数:
12
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
“上海-应用材料研究与发展”基金
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
冯飞
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
李珂
中国科学院上海微系统与信息技术...
闫许
中国科学院上海微系统与信息技术...
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冯飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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所获资助
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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李珂
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:焦平面阵列 温度补偿 噪声等效温差 MEMS技术 高灵敏度
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焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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闫许
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:焦平面阵列 液压执行器 红外吸收 红外探测器 光型
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