冯飞
- 作品数：118 被引量：48H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种具有高深宽比的全硅微色谱柱及其制备方法
- 本发明提供一种具有高深宽比的全硅微色谱柱及其制备方法，分别在第一硅衬底及第二硅衬底中形成对应的微沟道及微流控端口，而后通过硅硅键合工艺形成具有闭合微沟道及闭合微流控端口的复合硅基底，从而形成仅具有一种硅材质的全硅微色谱柱...
- 冯飞张海燕
- 微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法
- 本发明涉及一种新颖的微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法，属于微电子机械系统领域。该器件由红外光学系统、衬底(1)，m×n的像素陈列(15)，荧光屏(14)以及偏置电路(16)等组成。其特征在于采用微机械技术...
- 冯飞王跃林
- 文献传递
- 以金属有机骨架材料ZIF-8为固定相的硅基微气相色谱柱被引量：3
- 2021年
- 基于微机电技术制备了一种含有椭圆微柱阵列的半填充柱;采用水热法合成了一种金属有机骨架材料ZIF-8,将其涂敷在微色谱柱的微沟道内壁上作为固定相.在30℃恒温下对芯片的分离性能进行了测试,结果表明,以ZIF-8为固定相的微色谱柱可以在75 s内实现甲烷、乙烷和丙烷(C1~C3)的基线分离,其中甲烷-乙烷的分离度达到了2.23,与以介孔硅为固定相的微色谱柱相比提高了99%;甲烷、乙烷的峰面积以及甲烷-乙烷分离度重复性的相对标准偏差均小于3%.以上结果表明,以ZIF-8为固定相的微色谱柱在针对油田气实时分离的便携式微色谱系统中具有广泛的应用前景.
- 赵阳洋刘启勇陈泊鑫赵斌周海梅李昕欣郑丹冯飞
- 关键词：金属有机骨架材料固定相微机电系统
- 光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计被引量：1
- 2004年
- 针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面的反射率为 0 .5时 ,能获得较大的输出反射光强和反衬度 ,并保证了输出反射光强尽可能地随微镜位移在 0～λ/ 4范围内呈线性变化 ;可动微镜的温度响应值可达 2 .0 5× 10 -4,噪声等效温差为19.5mK ,热响应时间为 1.5 4× 10 -3 s。
- 冯飞焦继伟熊斌王跃林
- 关键词：光读出热成像噪声等效温差微腔焦平面阵列光学光强
- 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法
- 本发明提供一种光学读出红外探测器结构及其制作方法，所述探测器结构至少包括：玻璃衬底和通过第二锚悬空于所述玻璃衬底上的悬浮结构；所述悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁；所述可见光反射层悬空于所述玻璃衬底上，所述...
- 冯飞王跃林李昕欣
- 文献传递
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研...
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 文献传递
- 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱
- 本实用新型提供一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱，所述微色谱柱包括：微沟道；以及椭圆微柱阵列，周期性排列于所述微沟道内，椭圆微柱的长轴与待测组分的流动方向平行，短轴方向与待测组分的流动方向相垂直，所述椭圆微柱的长轴与短...
- 冯飞田博文侯磊李昕欣
- 文献传递
- 基于MEMS的气相色谱分析传感技术被引量：1
- 2020年
- 基于微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术实现分析仪器的微小型化是目前MEMS领域的重要研究内容之一。气相色谱仪是一种应用十分广泛的复杂气体分析仪器,基于MEMS技术实现气相色谱仪的微小型化,可满足当前快速增长的实时、在线、快速检测的需要。基于MEMS技术实现气相色谱仪核心部件的芯片化,并对其集成技术进行研究是当前基于MEMS的气相色谱分析传感技术研究的主要内容,给出了该分析传感技术的国内外研究现状及其技术发展趋势。
- 冯飞赵斌罗凡田博文
- 关键词：MEMS气相色谱色谱柱检测器
- 基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法
- 本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法，所述制备方法包括步骤：在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合，最后获得玻璃‑硅‑玻璃结构的双色谱柱芯片；或...
- 冯飞李昕欣
- 基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法
- 本发明提供一种基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法，基于电磁阀进行有序的流路切换，可实现气相色谱装置的吹扫、采样、进样及检测等功能，且采用功耗低的微型电磁阀，可降低气相色谱装置的功耗，且基于微型电磁阀的体积小、重量...
- 冯飞赵斌
- 文献传递
