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边娜

作品数：5 被引量：13H指数：1
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合作作者

领域

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机构

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  • 3个课程教育研究

地区

  • 8个天津市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金玉
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石衬底 CMP 后表面 电化学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何彦刚
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
项霞
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石衬底 磨料 粒径 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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