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易春艳

作品数:13 被引量:0H指数:0
供职机构:上海集成电路研发中心更多>>
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李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾绍海
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱建军
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:互连线 纳米线阵列 钨 互连 硅纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左青云
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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