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宋强

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖艳芬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘立人
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：合成孔径激光成像雷达 激光成像雷达 合成孔径 直视 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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