您的位置： 专家智库 > >

王东平

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 19个电子电信
  • 14个自动化与计算...
  • 11个电气工程
  • 10个机械工程
  • 7个理学
  • 6个一般工业技术
  • 6个文化科学
  • 5个金属学及工艺
  • 4个航空宇航科学...
  • 3个化学工程
  • 3个动力工程及工...
  • 3个交通运输工程
  • 3个环境科学与工...
  • 2个生物学
  • 2个建筑科学
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个农业科学

主题

  • 19个微机械
  • 17个刻蚀
  • 11个弹性梁
  • 11个电阻
  • 10个阵列
  • 10个通信
  • 9个电极
  • 8个多晶
  • 8个多晶硅
  • 7个电极结构
  • 7个电容
  • 7个电容式
  • 7个氧化硅
  • 6个电路
  • 5个单模
  • 5个单片
  • 4个大位移
  • 4个单腔
  • 4个点胶
  • 4个点胶机

机构

  • 19个中国科学院
  • 8个中国科学院上...
  • 5个浙江大学
  • 4个中科院上海微...
  • 2个中国科学院研...
  • 1个湖南大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个东风汽车有限...
  • 1个中国航天员科...

资助

  • 12个国家重点基础...
  • 12个国家自然科学...
  • 10个国家高技术研...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个高等学校骨干...
  • 3个教育部科学技...
  • 3个上海市科学技...
  • 3个“上海－应用...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个上海-AM基...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个上海市高校选...
  • 2个国际科技合作...
  • 2个上海市教育委...
  • 2个上海市教育委...
  • 2个上海市科委光...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个中国科学院上...
  • 1个国家科技支撑...

传媒

  • 11个功能材料与器...
  • 10个Journa...
  • 9个传感器与微系...
  • 7个光电子．激光
  • 7个半导体技术
  • 7个传感技术学报
  • 6个光学学报
  • 6个仪表技术与传...
  • 6个第八届敏感元...
  • 5个光学精密工程
  • 5个机械工程学报
  • 5个半导体光电
  • 5个纳米技术与精...
  • 5个第四届全国微...
  • 5个第五届全国微...
  • 4个红外与激光工...
  • 4个中国机械工程
  • 4个人工晶体学报
  • 4个测试技术学报
  • 4个激光与红外

地区

  • 16个上海市
  • 3个浙江省
共 19 条 记 录，以下是 1-10
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文辉
供职机构：浙江大学
研究主题：硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
向民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光电子器件 主电极 传感器件 压电驱动 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王浙辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光开关 微机械 各向异性腐蚀 晶向 大位移
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马颖蕾
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0