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潘忠才

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：命中 前飞 直升机 超宽带信号 超宽带
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪海波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 阳离子交换树脂 磨料 大粒径 比例控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡晓凯
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 大粒径 粗糙度 半导体 凹陷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张磊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：振荡器 晶向 谐振结构 振动梁 重掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张泽芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 氧化硅 抛光液 蓝宝石 氧化铈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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