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张轶铭

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 6个自动化与计算...
  • 3个金属学及工艺
  • 3个医药卫生
  • 3个一般工业技术
  • 3个理学
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个电气工程
  • 1个农业科学

主题

  • 9个金属
  • 7个刻蚀
  • 6个等离子体
  • 6个离子刻蚀
  • 6个刻蚀工艺
  • 6个钛
  • 5个刻蚀速率
  • 5个各向异性刻蚀
  • 5个干法刻蚀
  • 5个干法刻蚀工艺
  • 5个感应耦合
  • 5个高密度等离子...
  • 4个深刻蚀
  • 4个热压键合
  • 4个自由基
  • 4个微机电系统
  • 3个电火花
  • 3个电器
  • 3个对准标记
  • 3个气相沉积

机构

  • 11个北京大学
  • 1个中国科学院

资助

  • 1个国家重点基础...

传媒

  • 4个中国微米纳米...
  • 1个传感技术学报
  • 1个中关村
  • 1个中国组织工程...
  • 1个太赫兹科学与...
  • 1个微纳电子与智...
  • 1个第八届中国微...
  • 1个第七届全国创...

地区

  • 11个北京市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
胡佳
供职机构：北京大学
研究主题：边界角 刻蚀 离子 测量方法 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李天宇
供职机构：北京大学
研究主题：衬片 PARYLENE 隔热性能 刻蚀 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈书慧
供职机构：北京大学
研究主题：高密度等离子体 干法刻蚀工艺 各向异性刻蚀 刻蚀速率 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李男男
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 衬片 PARYLENE 高密度等离子体 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗进
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 调度 成形电极 ICP 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李文
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：LDPC C-RAN 无线接入网 软件无线电 低密度奇偶校验码
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈献
供职机构：北京大学
研究主题：一致性 场致电子发射 形貌 尖锥 基底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋璐
供职机构：北京大学
研究主题：掩膜 高深宽比 一致性 场致电子发射 旋涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵刚
供职机构：北京大学
研究主题：金属钛 MEMS器件 FBG ACHR OADM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田尧
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：微机电系统 玻璃衬底 MEMS器件 钛 TI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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