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邱昕

作品数：132 被引量：52H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院国防科技创新基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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