2025年1月4日
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卢继奎
作品数:
32
被引量:0
H指数:0
供职机构:
沈阳芯源微电子设备有限公司
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
文化科学
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合作作者
谷德君
沈阳芯源微电子设备有限公司
尹宁
沈阳芯源微电子设备有限公司
王丽鹤
沈阳芯源微电子设备有限公司
郝永平
沈阳理工大学
许伟
沈阳矿山机械集团有限公司
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相关作者
所获基金
研究领域
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2
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沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 晶圆 半导体行业 涂胶 半导体设备
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相关人物
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所获资助
研究领域
沈阳理工大学
研究主题:高校 数值模拟 大学生 仿真 性能研究
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相关人物
相关机构
所获资助
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