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陈岚

作品数：897 被引量：164H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项中国科学院战略性先导科技专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学电气工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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