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李泠

作品数：199 被引量：15H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院战略性先导科技专项中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>

合作作者

共 3 条 记 录，以下是 1-3
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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