鲁森
- 作品数：27 被引量：44H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 干涉条纹相位锁定系统被引量：3
- 2017年
- 干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的关系曲线,并以此为依据提出了条纹锁定精度的目标值。针对所要达到的锁定精度,给出了系统硬件的选型方法,搭建了基于RTX的干涉条纹相位锁定系统。利用闭环辨识的方法得到了系统的参数模型,完成了反馈控制器的设计,最终实现了实时锁定条纹相位的功能。实验结果表明,在400Hz的控制频率下,干涉锁定系统能够有效抑制0~5Hz的低频扰动,干涉条纹相位漂移的3σ值可以控制在±0.04个条纹周期内,满足干涉光刻的曝光对比度要求。
- 鲁森杨开明朱煜王磊杰张鸣
- 关键词：相位锁定声光调制器RTX
- 一种平面电机运动控制方法、装置及系统
- 本发明公开一种平面电机运动控制方法、装置及系统，方法包括：发送运动指令给控制模块，控制模块控制平面电机运动；获取动子的位置的测量数据，将运动指令与测量数据比较得到位置误差e，对测量数据差分得到速度v、加速度a、jerk、...
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- 文献传递
- 扫描干涉光刻装置
- 本发明提供一种扫描干涉光刻装置，包括：用于发射激光的激光器；用于将激光分束为相干光的分束器；光纤，光纤的两个出射接口对称设置；用于调整两个出射接口的光束干涉角调整装置，两个出射接口均位于光束干涉角调整装置上；以及曝光基底...
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- 干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置
- 本发明提供一种干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置，其中的方法包括：采集电机在匀速阶段的控制信号以及位移信号；基于控制信号和位移信号创建空间域正余弦信号，并将正余弦信号转换为对应的时域信号；根据时域信号创建补偿矩阵...
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- 文献传递
- 用于晶圆键合的对准标记定位算法被引量：4
- 2021年
- 对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。
- 鲁沛昕杨开明鲁森鲁森
- 关键词：亚像素
- 基于光刻机的传感器标定方法及系统
- 本发明提供一种基于光刻机的传感器标定方法及系统，包括：安装传感器于光刻机的工件台测量工件台的位移，将位移转换为电压，通过模/数转换器转换成数字信号；在传感器测量工件台的位移之前，向模/数转换器输入设定范围的电压，获得多个...
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- 文献传递
- 扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测被引量：1
- 2018年
- 根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿真结果表明,建立的曝光和显影模型能有效预测光栅掩模的槽形轮廓,同时可优化抗反射膜的厚度。
- 鲁森杨开明朱煜王磊杰张鸣
- 关键词：光栅
- 光路调节装置及干涉光刻设备
- 本发明涉及微纳结构制造技术领域，提供一种光路调节装置及干涉光刻设备。光路调节装置包括第一调节臂、第二调节臂、第一牵引件、第二牵引件和驱动机构；第一调节臂和第二调节臂分别设置有安装机构；第一牵引件的一端与第一调节臂连接，另...
- 鲁森朱翼先曹耒杨开明张鸣成荣
- 超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统被引量：17
- 2017年
- 开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。
- 王磊杰张鸣朱煜鲁森杨开明
- 关键词：光栅干涉仪外差干涉仪
- 光路调节装置及干涉光刻设备
- 本发明涉及微纳结构制造技术领域，提供一种光路调节装置及干涉光刻设备。光路调节装置包括第一调节臂、第二调节臂、第一牵引件、第二牵引件和驱动机构；第一调节臂和第二调节臂分别设置有安装机构；第一牵引件的一端与第一调节臂连接，另...
- 鲁森朱翼先曹耒杨开明张鸣成荣
