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王怡德
作品数:
1
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供职机构:
中国科学院空间科学与应用研究中心
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合作作者
王宇
中国科学院空间科学与应用研究中...
林永昌
中国科学院空间科学与应用研究中...
李晓谦
中国科学院空间科学与应用研究中...
尤大纬
中国科学院空间科学与应用研究中...
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王怡德
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1999
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用于制造光学薄膜的先进等离子体源
就研制先进等离子体源(GIS)的意义,设计及调试进行了论述。
尤大纬
王宇
李晓谦
王怡德
林永昌
关键词:
光学薄膜
等离子体源
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