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文献类型

  • 1篇国内会议论文

主题

  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体源
  • 1篇光学
  • 1篇光学薄膜

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇尤大纬
  • 1篇李晓谦
  • 1篇林永昌
  • 1篇王宇
  • 1篇王怡德

传媒

  • 1篇中国电工技术...

年份

  • 1篇1999
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用于制造光学薄膜的先进等离子体源
就研制先进等离子体源(GIS)的意义,设计及调试进行了论述。
尤大纬王宇李晓谦王怡德林永昌
关键词:光学薄膜等离子体源
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