刘立丰
- 作品数：2 被引量：23H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省留学归国人员基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 高精度调频式电容位移传感器被引量：5
- 2011年
- 设计了一种单极板调频式电容位移传感器,可实现非接触微位移测量。其原理为通过双路差频方法得到位移-频率的调制信号,再由乘法器鉴频得到位移变化量。电路包括测头及LC振荡电路、本振电路、混频下变频电路和鉴频电路。实验表明该传感器分辨力达到5 nm,并具有较好的线性度。
- 陈泓波黄向东刘立丰朱加兴
- 关键词：电容传感器微位移
- 调幅式电容位移传感器的峰值检波电路设计被引量：18
- 2012年
- 针对调幅式电容位移传感器解调过程中由系统不确定相移导致的信号解调不准确问题,提出了一种基于改进的峰值保持电路的调幅式电容位移传感测量方法。首先,分析了调幅式电容位移传感器及其检测电路的工作原理,在研究调幅信号附加相移产生机理的基础上,提出了延迟反馈式峰值保持电路,用以去除附加相移对峰值解调的影响。然后,设计并制作了调幅式电容位移传感器,并对其各个性能指标进行了测试。最后,对实验结果和误差进行了分析。实验显示,提出的峰值保持电路的输出线性度优于0.05%,制作的传感器在0～25μm内数据测量稳定性优于10nm/30min,传感器测量偏差最大值为36nm。结果表明,采用延迟反馈型峰值保持电路有效地解决了系统不确定相移带来的峰值检波不准确的问题,所制作的电容传感器满足了高精度测量的要求。
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- 关键词：位移传感器电容传感器相位延迟
