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陈泓波

作品数:2 被引量:6H指数:1
供职机构:哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电容
  • 2篇电容位移传感...
  • 2篇调频式
  • 2篇位移传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇微位移

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇陈泓波
  • 1篇朱加兴
  • 1篇黄向东
  • 1篇刘立丰

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 2篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
高精度调频式电容位移传感器被引量:5
2011年
设计了一种单极板调频式电容位移传感器,可实现非接触微位移测量。其原理为通过双路差频方法得到位移-频率的调制信号,再由乘法器鉴频得到位移变化量。电路包括测头及LC振荡电路、本振电路、混频下变频电路和鉴频电路。实验表明该传感器分辨力达到5 nm,并具有较好的线性度。
陈泓波黄向东刘立丰朱加兴
关键词:电容传感器微位移
调频式电容位移传感器中鉴频技术的研究
电容位移传感器结构简单、动态性能好、分辨力高,能实现非接触式测量,可检测位移、平面度、微振动等,广泛应用于高精密加工和测量领域。调频式电容位移传感器一般采用LC振荡电路作为调频电路,在纳米级位移测量中,调频信息较微弱,且...
陈泓波
关键词:位移传感器
共1页<1>
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