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陈泓波
作品数:
2
被引量:6
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
刘立丰
哈尔滨工业大学电气工程及自动化...
黄向东
哈尔滨工业大学电气工程及自动化...
朱加兴
哈尔滨工业大学电气工程及自动化...
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作者
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陈泓波
1篇
朱加兴
1篇
黄向东
1篇
刘立丰
传媒
1篇
仪表技术与传...
年份
2篇
2011
共
2
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高精度调频式电容位移传感器
被引量:5
2011年
设计了一种单极板调频式电容位移传感器,可实现非接触微位移测量。其原理为通过双路差频方法得到位移-频率的调制信号,再由乘法器鉴频得到位移变化量。电路包括测头及LC振荡电路、本振电路、混频下变频电路和鉴频电路。实验表明该传感器分辨力达到5 nm,并具有较好的线性度。
陈泓波
黄向东
刘立丰
朱加兴
关键词:
电容
传感器
微位移
调频式电容位移传感器中鉴频技术的研究
电容位移传感器结构简单、动态性能好、分辨力高,能实现非接触式测量,可检测位移、平面度、微振动等,广泛应用于高精密加工和测量领域。调频式电容位移传感器一般采用LC振荡电路作为调频电路,在纳米级位移测量中,调频信息较微弱,且...
陈泓波
关键词:
位移传感器
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