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吕博佳

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇热丝
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇无机非金属
  • 1篇无机非金属材...
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇非金属材料

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇刘韶华
  • 1篇温小琼
  • 1篇刘艳红
  • 1篇吕博佳

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热丝化学气相沉积制备多晶硅薄膜的研究被引量：5
2006年
采用热丝化学气相沉积技术制备了多晶硅薄膜。利用Raman、XRD、SEM等检测手段，系统研究了沉积气压、衬底温度、衬底与热丝间距离、衬底种类等实验参数对多晶硅薄膜晶态比、晶面择优取向、晶粒尺寸的影响。得出优化条件：沉积气压42Pa，衬底温度250℃，衬底与热丝间距离48mm，在玻璃衬底上制备出晶态比Xc〉90％，择优取向为（111），横向晶粒尺寸为200～500nm，纵向晶粒尺寸为30nm左右的优质多晶硅薄膜。
刘韶华刘艳红吕博佳温小琼
关键词：无机非金属材料热丝化学气相沉积多晶硅薄膜
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