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米艳红
作品数:
1
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵春华
中国科学院半导体研究所
曾凡平
中国科学院半导体研究所
冉启江
中国科学院半导体研究所
毛雪
中国科学院半导体研究所
高利朋
中国科学院半导体研究所
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作者
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韩培德
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高利朋
1篇
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1篇
冉启江
1篇
曾凡平
1篇
米艳红
1篇
赵春华
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光通信技术
年份
1篇
2009
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与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究
2009年
硅基波导型光电探测器作为一类重要的光电探测器,由于其能与标准的CMOS工艺兼容以及制备工艺简单等性能,因而在光电子单片集成方面具备广阔的市场应用前景。文章着重阐述了通过离子注入引入深能级、Ge/Si自组装岛、SOI波导共振腔增强和AlGaInAs-Si混合集成等四种方式来制备硅基光电探测器的研究现状和研究进展,并对四类器件的结构,制作工艺和光电性能指标进行了详细地介绍。
曾凡平
韩培德
高利朋
冉启江
毛雪
赵春华
米艳红
关键词:
深能级缺陷
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