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米艳红

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇深能级
  • 1篇深能级缺陷
  • 1篇能级
  • 1篇自组装
  • 1篇硅基
  • 1篇CMOS兼容

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇韩培德
  • 1篇高利朋
  • 1篇毛雪
  • 1篇冉启江
  • 1篇曾凡平
  • 1篇米艳红
  • 1篇赵春华

传媒

  • 1篇光通信技术

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究
2009年
硅基波导型光电探测器作为一类重要的光电探测器,由于其能与标准的CMOS工艺兼容以及制备工艺简单等性能,因而在光电子单片集成方面具备广阔的市场应用前景。文章着重阐述了通过离子注入引入深能级、Ge/Si自组装岛、SOI波导共振腔增强和AlGaInAs-Si混合集成等四种方式来制备硅基光电探测器的研究现状和研究进展,并对四类器件的结构,制作工艺和光电性能指标进行了详细地介绍。
曾凡平韩培德高利朋冉启江毛雪赵春华米艳红
关键词:深能级缺陷
共1页<1>
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