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张彬

作品数：5 被引量：33H指数：4
供职机构：陕西应用物理化学研究所更多>>
发文基金：国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：兵器科学与技术一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇兵器科学与技...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇MEMS
  • 3篇火工品
  • 2篇桥区
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微结构
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇电阻率
  • 1篇性能分析
  • 1篇膜厚
  • 1篇金属薄膜
  • 1篇厚度
  • 1篇薄膜厚度

机构

  • 5篇陕西应用物理...
  • 2篇西安交通大学

作者

  • 5篇褚恩义
  • 5篇张彬
  • 5篇李慧
  • 5篇任炜
  • 3篇尹明
  • 2篇赵玉龙
  • 2篇王可暄
  • 2篇任炜
  • 1篇白颖伟

传媒

  • 2篇含能材料
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇火工品

年份

  • 4篇2018
  • 1篇2017
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
MEMS火工品换能元的研究进展被引量：22
2017年
换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的。文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度,综述了近年来MEMS火工品换能元的最新发展研究。介绍了MEMS火工品换能元的两大关键技术:MEMS火工品换能元的设计制备方法以及换能元性能参数的测试表征。指出:具有微型化、集成化、多功能化和高可靠性的MEMS火工品换能元是未来研究的热点。为M EM S火工品换能元的设计研究提供理论支撑,应加强微尺度下的热散失特性以及桥区电阻特性研究。认为复合含能薄膜桥换能元是MEMS火工品换能元的一个重要发展方向。
张彬褚恩义任炜王可暄李慧尹明
微机电火工品薄膜结构换能元被引量：12
2018年
为了满足MEMS火工品的小型化、集成化和低能发火等要求,本文基于MEMS技术,设计了一种平面"蛇"形结构的薄膜换能元,采用磁控溅射等MEMS薄膜制作技术,完成了不同薄膜桥区电阻和基底材料薄膜换能元样品的制备,采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM),低电阻测试仪、红外热像仪等设备,完成了不同换能元样品结构(薄膜桥区线宽、长度及厚度等)及性能(电阻、电热响应等)参数的测试与表征。通过分析研究,获得了薄膜桥区电阻材料、基底材料、薄膜厚度以及桥区结构形状对换能元性能的影响规律,优选确定以金属Pt和7740玻璃作为换能元电阻及基底材料,发火性能达5V/33μF,满足MEMS火工品的低能化要求。
任炜任炜赵玉龙褚恩义张彬
关键词：MEMS薄膜厚度
不同桥形微结构换能元的仿真设计与实验研究被引量：6
2018年
微结构换能元是微机电系统(Micro Electro?Mechanical Systems,MEMS)火工品的关键器件,其桥区微结构设计对MEMS火工品的输出性能和能量利用率具有显著影响。为完善MEMS火工品微结构换能元设计理论,设计制作了8种不同桥形微结构换能元,采用仿真研究与红外测试等手段进行微结构换能元桥形结构优选与微结构效应研究,获得了V?50和L?1两种优选桥形结构换能元,揭示了不同桥形结构对换能元输出性能的影响规律,其中V?50桥形微结构换能元平均发火电压达到了100μF/3.5 V,能量利用率为46.6%。
张彬任炜任炜褚恩义赵玉龙尹明
基于红外测试技术的微结构换能元性能分析
微结构换能元是MEMS火工品的关键器件,其桥区微结构设计对MEMS火工品的输出性能和能量利用率具有显著影响。为完善MEMS （微机电系统Micro Electro-Mechanical Systems）火工品微结构换能元...
张彬白颖伟任炜褚恩义李慧
文献传递
厚度对MEMS换能元薄膜电阻率的影响研究被引量：4
2018年
为完善微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品薄膜换能元设计理论,减小微尺度下换能元参数的设计误差,保证设计电阻及MEMS火工品的作用性能,理论分析了微尺度下薄膜电阻率的影响因素,采用磁控溅射进行了不同材料(Al、W、Cr、Ni-Cr)、不同微纳米厚度(<2μm)薄膜的制备,并对不同厚度薄膜的电阻率参数进行表征,揭示了微纳尺度下电阻率的尺度效应规律,获得了相应的拐点数据。
张彬褚恩义任炜倪德彬尹明李慧王可暄
关键词：金属薄膜电阻率
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