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陈强
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
瑞典皇家工学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孙晓红
东南大学苏州研究院
高怀
东南大学苏州研究院
陈文兰
东南大学苏州研究院
胡善文
东南大学苏州研究院
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陈强
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2011
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阶梯浅沟槽隔离结构LDMOS耐压机理的研究
被引量:1
2011年
提出了一种具有阶梯浅沟槽隔离结构的LDMOS.阶梯浅沟槽结构增加了漂移区的有效长度,改善了表面电场及电流的分布,从而提高了器件的击穿电压.借助器件模拟软件Silvaco对沟槽深度、栅长及掺杂浓度等工艺参数进行了优化设计.结果表明,在保证器件面积不变的条件下,新结构较单层浅沟槽隔离结构LDMOS击穿电压提升36%以上,而导通电阻降低14%.
陈文兰
孙晓红
胡善文
陈强
高怀
关键词:
LDMOS
漂移区
击穿电压
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