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黄鑫钿
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
五邑大学信息学院
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发文基金:
广东省自然科学基金
江门市科技计划项目
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相关领域:
理学
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合作作者
谭军
五邑大学信息学院
齐德备
五邑大学机电工程系
杨柳
五邑大学信息学院
丁晓贵
五邑大学数学物理系
丁瑞钦
五邑大学应用物理与材料学院薄膜...
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微结构
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P型
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P型ZNO
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P型ZNO薄...
1篇
X射线衍射
1篇
ZNO薄膜
机构
2篇
五邑大学
作者
2篇
陈毅湛
2篇
黎扬钢
2篇
朱慧群
2篇
丁瑞钦
2篇
丁晓贵
2篇
杨柳
2篇
黄鑫钿
2篇
齐德备
2篇
谭军
传媒
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人工晶体学报
1篇
五邑大学学报...
年份
2篇
2008
共
2
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被引量排序
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制备工艺对p型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响
被引量:1
2008年
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系。文章对这些关系的机理做了探讨和分析。
丁瑞钦
陈毅湛
朱慧群
黎扬钢
丁晓贵
杨柳
黄鑫钿
齐德备
谭军
关键词:
ZNO薄膜
微观结构
电学特性
p-ZnO薄膜的制备及其微结构测试与分析
2008年
报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析和探讨.
陈毅湛
丁瑞钦
朱慧群
黎扬钢
丁晓贵
杨柳
黄鑫钿
齐德备
谭军
关键词:
退火工艺
X射线衍射
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