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齐德备

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：五邑大学应用物理与材料学院薄膜与纳米材料研究所更多>>
发文基金：广东省自然科学基金江门市科技计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学

主题

  • 2篇P型
  • 2篇P型ZNO
  • 2篇P型ZNO薄...
  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇射线衍射
  • 1篇退火
  • 1篇退火工艺
  • 1篇微观结构
  • 1篇微结构
  • 1篇扩散法
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇磷
  • 1篇掺磷
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 3篇五邑大学

作者

  • 3篇陈毅湛
  • 3篇朱慧群
  • 3篇丁瑞钦
  • 3篇丁晓贵
  • 3篇齐德备
  • 2篇黎扬钢
  • 2篇杨柳
  • 2篇黄鑫钿
  • 2篇谭军
  • 1篇曾庆光

传媒

  • 2篇人工晶体学报
  • 1篇五邑大学学报...

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
p-ZnO薄膜的制备及其微结构测试与分析
2008年
报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析和探讨.
陈毅湛丁瑞钦朱慧群黎扬钢丁晓贵杨柳黄鑫钿齐德备谭军
关键词：退火工艺X射线衍射
制备工艺对p型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响被引量：1
2008年
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系。文章对这些关系的机理做了探讨和分析。
丁瑞钦陈毅湛朱慧群黎扬钢丁晓贵杨柳黄鑫钿齐德备谭军
关键词：ZNO薄膜微观结构电学特性
磷扩散法制备高掺磷p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺的探索
2010年
在前期通过n+-Si衬底中的磷向沉积于其上面的ZnO薄膜的扩散制备高掺磷p型ZnO薄膜的研究基础上,探索了较有普遍应用意义的扩散法制备p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺。结果表明,当磁控溅射的氧氩质量流量比与衬底温度满足特定的低阶指数函数的匹配关系时,所制备的ZnO薄膜为p型,而且薄膜中磷原子的深度分布是均匀的;另外,这种薄膜的厚度随着氧氩流量比的增加而减小,而薄膜中氧锌原子浓度比都大于1,比值大小与氧氩质量流量比和衬底温度有关。
丁瑞钦曾庆光陈毅湛朱慧群丁晓贵齐德备
关键词：P型ZNO薄膜
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